二手 ULVAC Entron EX W300 #9275306 待售

ULVAC Entron EX W300是为材料处理应用而设计的高性能、紧凑的溅射设备。该系统为沉积和精密涂层应用提供了更高的生产率、可靠性和精度。它具有先进的磁控管阴极，为均匀均匀的薄膜沉积提供均匀一致的能量来源。ULVAC ENTRON-EX W300设有原位基板加热机构、多区锁载室和后侧电离室，以利于高膜质。ENTRON EX W 300有一个膨胀的溅射室，可以增加过程吞吐量，允许增加基板容量，步长为4英寸。该装置采用高效的两级冷却机器，用于溅射阴极，以确保最佳阴极温度和长期使用。该工具配备了一个高真空溅射气源，与真空泵连接，并直接送入在腔室和负载锁之间交换的溅射气体。此外，该资产还提供了一种低压溅射工艺，用于沉积在非导电基板上。为了提高沉积质量，该模型有一个底物旋转表，允许处理复杂的薄膜结构。它包括使用Peltier-can设备自动装载和卸载基板，并配有多区气体净化系统，以维持单元内的清洁环境和控制基板-等离子体界面。此外,ULVAC ENTRON EX W 300与适当的软件包集成在一起,该软件包提供对机器的远程控制访问,提供简单的操作和过程监控。ENTRON EX W300为多次溅射沉积应用提供了优越的膜沉积和控制，并采用耐用材料构建，使其成为一种敏捷而健壮的溅射工具。这种溅射资产是汽车、航天、电子、生物医学和光学等行业的理想选择。