二手 ULVAC Entron EX W300 #9282017 待售

ULVAC Entron EX W300
製造商
ULVAC
模型
Entron EX W300
ID: 9282017
晶圆大小: 12"
优质的: 2013
PVD System, 12" 2013 vintage.
ULVAC Entron EX W300是一种非常先进的溅射沉积设备,适用于各种工业应用.该系统采用紧凑的设计,最大尺寸为78.74英寸x 68.11英寸x 32.68英寸,是对任何工作区的绝佳补充。该机组使用电磁离子束源进行溅射,提供比传统热蒸发器更高的沉积速率和更低的均匀性。该机还配备了电动目标移位器、旋转馈线和自动基板装载机,创造了真正自动化的溅射过程。ULVAC ENTRON-EX W300设计为提供卓越的沉积均匀性和速率控制。通过在溅射过程中采用离子束技术,ENTRON EX W 300能够实现卓越的沉积均匀性,尤其是在垂直基板上。该工具还具有广泛的目标电流调整设置,允许对溅射沉积速率进行精细控制。ULVAC ENTRON EX W300还可以处理范围广泛的目标材料和厚度,从无磁导电目标(如铜)到磁性材料(如不锈钢),使其能够用于各种工业应用。ENTRON-EX W300易于操作和维护。用户友好的图形用户界面(GUI)允许对基板旋转速度、目标位置、沉积控制设置等参数进行直观控制。GUI还具有数据记录功能,允许用户保存和监视沉积过程。此外,ULVAC ENTRON EX W 300的设计具有极高的可靠性和最小的停机时间,其特点是具有电力调节资产,以确保稳定的工艺条件,以及双室清洗模型,能够快速和方便地清洗沉积室。ENTRON EX W300对于需要高质量溅射沉积的行业来说是一个极好的选择,其应用范围从涂层医疗设备到制造薄膜电容器。该设备坚固、易于操作,并具有很高的统一性,为许多工业过程提供了优化的解决方桉。
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