二手 ULVAC Entron EX W300 #9282019 待售

ULVAC Entron EX W300是一种强大的物理气相沉积（PVD）溅射设备,用于将薄膜材料沉积到基板上。它主要用于从工业涂料到微电子的应用。它能够将多种材料中的高纯度金属或氧化物薄膜沉积到具有出色均匀性和薄膜完整性的小区域，因此非常适合这些应用。ULVAC ENTRON-EX W300具有多种功能,使其操作简单高效。系统具有广泛的溅射源配置,范围从单个源到四源串联配置,具体取决于应用程序。此外，DC、RF和脉冲DC溅射的不同组合也可用于优化膜质量。最多四源串联配置也意味着可以在同一过程中沉积多种材料，这增加了单元的多功能性。ENTRON EX W 300具有广泛的工艺监控功能，如基板温度检测（STD）功能和激光密度测量（LDM）功能。STD特性利用扫描红外热成像机在溅射过程中检测基板表面温度，LDM特性使用激光束测量沉积膜的光学密度。这些特性对于监测沉积过程和保证高质量的薄膜涂层具有重要意义。ULVAC ENTRON EX W300具有高效的冷却工具,可实现多达100个基板的批处理过程。冷却设备的设计可以有效控制温度和均匀沉积薄膜。整个型号由单一、用户友好的触摸屏界面控制,可确保易于使用。ENTRON EX W300以其高均匀性、优良的薄膜质量、高效的操作，非常适合汽车、能源、医疗等行业的应用。该设备的多功能性和单批加工多达100种基材的能力使其成为工业涂层和其他薄膜应用的理想选择。