二手 ULVAC Entron EX W300 #9282020 待售

ULVAC Entron EX W300是一种用于薄膜高级沉积的溅射设备。该系统利用各种高效可靠的溅射涂层技术，制造出高性能的磁性、光学、透明和导电薄膜。采用多弧溅射技术和若干附加涂层选项，如动态双极脉冲功率和无功溅射，该单元允许精确复杂的薄膜结构。该机由一个主单元和一个全自动控制模块、一个独立的同轴装载机/储物柜单元组成，该单元提供灵活的基板形状和尺寸，一个阴极射频单元和一个创新的磁控管单元。该工具为溅射高质量的超薄膜提供了卓越的性能。为了获得最大的薄膜性能，ULVAC ENTRON-EX W300可以提供各种溅射过程，如经典惰性溅射、反应性溅射、阴极环溅射和弧锥溅射以及双三头目标。这些工艺可用于制造复合薄膜、硬质涂层和多层薄膜。此外，它们还能提高沉积速率，改善溅射均匀性。ENTRON EX W 300资产除了具有溅射能力外，还允许方便灵活的基板处理。用户可以轻松处理各种尺寸和形状的基板，从晶圆到矩形片。基板级具有电容端点检测，可确保整个表面的沉积均匀性得到优化。该模型还配备了用于可靠数据收集的数据记录器，使用户能够轻松检查收集的数据。该设备还能够获取用于RGA分析和优化过程参数的过程数据。此外，该系统能够进行温度控制处理，因为它可以配备温度控制的基板支架。ENTRON EX W300是一种先进的溅射装置,可提供高性能、优化的沉积均匀性以及多种工艺选项。它适用于许多应用，从制造光学涂层和薄膜到制造精密元件。