二手 ULVAC Entron EX W300 #9353969 待售
网址复制成功!
单击可缩放
ID: 9353969
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
Sputtering system, 12"
Load module:
Load port
Robot arm
Transfer module: (2) Robot arms
Process module: (8) Chambers
Utility:
AC Rack
Pump rack
DC Power supply rack
Heater rack
2007 vintage.
ULVAC Entron EX W300溅射设备是一种先进的物理气相沉积(PVD)系统,专门针对金属、合金、电介质和其他材料沉积到基板上进行了优化。该装置非常适合用于从太阳能电池到光电元件的各种应用的薄膜。ULVAC ENTRON-EX W300的机器配置包括一个具有两个独立真空室和一个负载锁定机构的基础单元。这允许同时处理多达两个基板尺寸。直接驱动电动机驱动器能够提供各种材料和表面表面的精确和可重复的沉积,并具有一贯可重复的结果。ENTRON EX W 300配备了ULVAC现场验证的"PowerWave"溅射工具。这允许在单个沉积循环中选择性沉积具有独立功率设置的两种不同材料。该资产还在每个真空室中配备了四个阴极,允许同时溅射多达四种材料。ENTRON-EX W300还配备了广泛的样品支架和夹具,用于容纳不同类型的样品和基板。这样就可以在沉积过程中对基板进行精确和可重复的定位。这样可以确保薄膜在整个表面的均匀覆盖。Entron EX W300还配备了先进的控制系统,包括集成的过程控制面板和最新的PLC触摸屏控制器。这允许用户友好、自动地控制整个溅射过程。此外,该模型还可以连接到各种其他系统,用于数据记录和操作员指导。总体而言,ENTRON EX W300非常适合使用多种材料创建精确、高质量的薄膜。它的自动化控制、精确沉积和先进的夹具设备允许在一个沉积周期内对各种不同的材料进行均匀的覆盖率和可重复的溅射。ULVAC ENTRON EX W 300是一种可靠、经济高效、高性能的溅射系统,非常适合各种薄膜应用。
还没有评论