二手 ULVAC Entron EX W300 #9381852 待售

ULVAC Entron EX W300是一种溅射设备，用于通过物理气相沉积生产薄膜。ULVAC ENTRON-EX W300是一种紧凑的台式溅射系统,能够沉积用于介电、金属和电阻层结构的多种材料,设计用于半导体和薄膜沉积应用。溅射单元可以溅射目标材料，包括但不限于铝、金、全新、铂、氧化铝、二氧化硅。ENTRON EX W 300旨在轻松集成到手动或自动化生产线中，具有小占地面积和低重心。而且，它的光学清晰的石英视图端口提供了目标材料和基板的清晰视图，而无需移动门。它采用了独特的无磁性单轴直流溅射专利，以尽量减少维护和气体消耗，以及获得专利的速变溅射插件，以允许目标材料的快速切换。该机的真空室设有低压图和前置负载磁滤器，以降低灰尘水平。由于获得了专利的安全快门和各种自动关闭资产控制选项,该工具能够产生厚度和组成均匀的层。自动关闭模型允许在沉积各种厚度的层时使用用户定义的目标功率、目标位置和冷却时间。ULVAC ENTRON EX W300采用最新的PECVD（等离子体增强化学气相沉积）技术,提供高密度的针点沉积。最后,Entron EX W300提供最新的软件监控和诊断监控,以确保平稳运行,并提供最高质量的薄膜沉积。