二手 ULVAC Entron EX #9195690 待售

ULVAC Entron EX是为各种先进材料薄膜的应用而设计的溅射设备。具有高重复性的高速、高精度、高质量溅射沉积。ULVAC ENTRON-EX系统由交流溅射源和直流溅射源两个组件组成。交流溅射源用于金属和无机化合物的沉积，以及一些氧化物薄膜。直流溅射源用于各种金属、合金和IC电阻膜的沉积。该单元采用了一种多合一的平面磁控管溅射配置，允许同时使用两个溅射源。这种溅射配置允许由于双方向磁控管溅射而产生的高速率溅射。磁铁产生的磁场和机器的设置导致目标表面上的沉积速率很高。该工具还配备了自动补偿器，可根据目标面积大小调整电源电压。此功能有助于防止目标表面污染,并通过自动调整电源电压来减少废料,从而提高资产的生产率。此外，该模型可根据目标材料设置为具有不同的电源电压，这对沉积不同的薄膜很有帮助。此设备提供了多种功能,可在操作平台时增加用户体验。它具有高度自动化和实时显示真空条件、系统状态等重要信息。它还提供了多种操作模式，根据当前的要求允许高度的灵活性。此外，它还有一个惰性气体供应装置，在必要时能够有效地控制溅射过程。总体而言，Entron EX是一种创新的溅射装置，为各种应用提供高效可靠的薄膜沉积。高精度、高质量的溅射沉积，以及新增的特性，使得ENTRON-EX成为沉积薄膜的理想平台。