二手 ULVAC Entron EX #9226068 待售

ULVAC Entron EX是一种用于半导体生产的高精度溅射设备。它采用双磁控管溅射系统，在基板上的沉积材料中产生高均匀性。这使得它非常适合在芯片上生产高质量的设备。ULVAC ENTRON-EX有一个由不锈钢构成的真空室，能够产生10-5 torr或更高的真空。它带有一个自动化的过程控制器，可以对沉积过程进行精确的监测和控制。内部温度控制单元在沉积过程中使腔室保持稳定温度。EntronEX所用的磁控管溅射机能够在高沉积速率下产生高质量、均匀、具有优异附着力和耐腐蚀性的独特材料沉积物。磁控管溅射工具还允许对被沉积的材料进行精确控制，从而可以更好地控制薄膜的厚度和均匀性。该资产带有集成的源处理模型，可轻松快速地进行源更改，而无需打开真空室。这样可最大程度地减少生产过程中的停机时间。ENTRON-EX还配备了几个安全系统，如紧急停止按钮和可以帮助避免错误操作的自动重新启动设备。ULVAC Entron EX是为各种应用生产高质量半导体器件的绝佳选择。凭借其精确的控制和高度统一的矿床剖面，可以提供最高的产量和质量控制。它还具有成本效益,并且易于配置和维护。