二手 ULVAC Entron N300 #9314074 待售

ULVAC Entron N300
製造商
ULVAC
模型
Entron N300
ID: 9314074
优质的: 2013
Multi-chamber sputtering system 2013 vintage.
ULVAC Entron N300溅射设备是一种工业级设备,设计用于通过溅射过程将薄膜沉积到基板上。该系统采用高性能真空装置,提供高温烘烤和低于10-7 Pa的极限压力等功能,以及环保的涡轮分子真空泵。这使机器能够提供高达300 nm/min的溅射沉积速率。该工具还配备了模块化阴极源,提供多功能溅射目标。其无Cathod-less磁控管溅射源设计用于均匀目标侵蚀和涂层均匀性。特殊涂层工艺如单波或双波双向溅射也可以用这种资产进行。为了监测沉积过程,该模型集成了快速响应几何调整的溅射功率监测器。其真空设备监测器可对系统压力和组成进行精确分析。Entron N300的腔室由不锈钢外壳和扁平石英窗组成。它旨在提供良好的气体屏蔽环境,以确保无污染沉积。该室还与弹药筒式排气装置和自动压力控制装置相结合,为沉积提供了清洁、高纯度的工艺环境。而且,该机配备了控制PC、进程数据存储器和图形用户界面,提供了卓越的自动化最终用户可编程性。这使得ULVAC Entron N 300成为各种应用的理想沉积工具,从显示面板的薄膜沉积到汽车零件涂层。
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