二手 ULVAC Entron W-40078 #9109099 待售

ULVAC Entron W-40078溅射设备是一种先进的物理气相沉积（PVD）工具,用于金属和合金导电层和绝缘层的沉积。该工具采用了陶瓷crucible和干泵，以产生高纯度的环境。Entron W-40078是各种研究和制造应用的理想工具，如生产平板显示器、柔性电子和传感器。ULVAC Entron W-40078是一种半自动机，设计有易于使用的操作员界面。该系统可与多个溅射源配合使用，包括直流源、射频源和热丝源。直流光源最多可产生4kV个,射频光源最多可产生500W个,热丝光源最多可产生400V个。该单元包括四个独立的工艺室，允许使用者一次最多存放四种不同的目标材料。每个工艺室都配有自己的溅射源、独立的工艺气体、压力、温度和腔室压力监测器。这允许机器的高精度操作。例如，压力和温度可以分别控制每个腔室。操作员界面为每个腔室设置沉积参数提供了一种简单的方法。该工具具有多级扩散器，可促进晶片之间的均匀沉积。它还具有自动加载机制，允许在沉积过程中精确操纵晶片。Entron W-40078包括多个安全功能,包括紧急停止按钮、安全快门和安全监视器,用于监视资产的电气异常。这些功能确保模型安全高效地运行。总之，ULVAC Entron W-40078是研究和制造应用的理想物理气相沉积工具。它非常方便用户，可以在晶片上产生精确的金属和合金沉积。该设备还具有先进的安全功能，以确保系统安全高效。