二手 ULVAC Entron #9041421 待售
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ID: 9041421
Physical vapor deposition system, 12"
SMIF: no
Wafer type: notch
Software OS: UNIX
2004 vintage.
ULVAC Entron是由日本专门从事真空处理设备的公司ULVAC(Ultra Low Vacuum)生产的溅射设备。它是一种先进的高通量生产工具,能够精确地涂覆各种基板。它是一种基于辉光放电阴极电弧等离子体技术的多功能沉积系统,具有多种溅射源,包括合金、氧化物和碳化物,用于射频和直流应用。Entron单元设计为同时营造正确的大气,同时也独立控制每个溅射源的运行状况。ULVAC Entron具有在射频和直流溅射功能、多源控制和自动化操作之间切换的能力,是一种非常高效的溅射工具。该机器还允许通过单一源调度来装载和卸载基板,从而确保过程的均匀性和可重复性。Entron提供了许多优势,包括提高生产效率和降低运行成本。其高吞吐量、处理多种材料的能力,以及对涂层表面的精确控制,可提供卓越的性能和一致性。ULVAC Entron在不同应用中操纵大气的能力导致了高产和经济高效的溅射。此外,该工具还能够为各种应用创建薄至10纳米(10nm)的薄膜。恩特龙还配备了ULVAC先进的监控技术,允许对溅射过程进行全面控制。这包括对基板、膜厚度、均匀性和其他参数的实时监控。此外,该资产还采用了用户友好的界面和功能强大的软件,使用户能够轻松设置和操作。这种功能的组合使得ULVAC Entron成为各种溅射应用程序的理想生产工具。总之,Entron是一个功能强大的工具,适用于需要精确、可靠和高效溅射系统的用户。其先进的功能和特性使其成为工业沉积应用的宝贵资产,并为用户提供可靠、高吞吐量的生产工具。
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