二手 ULVAC Entron #9150538 待售
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ID: 9150538
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
Physical vapor deposition system, 12"
Process: Metal
2004 vintage.
ULVAC Entron是为薄膜材料沉积而设计的先进溅射设备。该系统利用直流电、脉冲直流和定向溅射,在一个单元中提供多种沉积过程。它还设计用于精确控制温度、压力和气流,以确保最佳的膜沉积。Entron具有紧凑的设计,与其他更大的溅射系统相比,它具有明显的优势。其占地面积小,功率能力大,适用于研究和实验室应用以及工业生产。该机器最多可配置四个电源,每个电源可提供各种电源级别。此外,所有源都可以独立操作或组合操作,以提供精确的控制,从而实现精确的沉积。提供均匀而密集的薄膜。为确保最佳薄膜质量,ULVAC Entron可以配备多种选项,包括惰性气体供应、冷冻泵和温度控制。该工具还与多个气体和潜水泵兼容,以便能够使用反应性气体。Entron资产还提供了最高程度的过程稳定性和最低数量的气体泄漏点。这确保了最小的污染和长期可重复的溅射沉积过程。而且,与其他溅射系统相比,该模型功耗低。ULVAC Entron是一款适合多种应用的多功能设备。应用实例包括电介质、金属、陶瓷甚至透明导电材料的沉积。薄膜沉积具有很高的重复性和准确性.考虑到所有这些优点,Entron对于需要可靠和可重复结果的小型和大型溅射沉积项目都是一个不错的选择。
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