二手 ULVAC Entron #9235259 待售

ULVAC Entron
製造商
ULVAC
模型
Entron
ID: 9235259
晶圆大小: 12"
优质的: 2010
Physical vapor deposition systems, 12" Process: Metal 2010 vintage.
ULVAC Entron是一种最先进的溅射设备,用于在各种工业应用中沉积材料薄膜。该系统利用一个能够达到1x10-3 Pa的基本压力的高端真空室,允许有一个适合这种精确沉积的受控环境。腔室本身相当宽敞,允许在内部放置各种细腻错综复杂的基板组件,非常适合在许多不同类型的表面均匀沉积。Entron单元利用了四个磁控管溅射枪,并且能够承受各种各样的操作压力,这取决于所需的薄膜参数。这些枪具有广泛的目标材料能力,可以是钛、铝、铬、不锈钢和其他金属。每把枪都可以独立于其他枪的操作,也可以同步进行同时溅射。这增加了已经相当可观的控制机器,并使得一个真正通用的沉积选项。ULVAC Entron工具还配备了大量量规和传感器,可实时测量排气、压力和其他参数。这些传感器为操作员提供了大量数据,使他们能够在整个沉积过程中进行精确的调整,从而更好地控制所产生的薄膜。Entron是一个令人难以置信的有效和精确的溅射资产选项,对于那些寻求更多的控制薄膜沉积。它允许更大的控制基板装配位置,膜参数,并运行一个非常可观的基础压力。它的四门磁控管枪可以独立或串联工作,允许比市面上许多其他系统更大的通用性,使其成为广泛工业应用的逻辑选择。
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