二手 ULVAC Entron #9255982 待售

ULVAC Entron是ULVAC制造的溅射设备，ULVAC是半导体生产设备设计、制造和分销的全球领先者。中心溅射系统非常适合将材料薄膜沉积到基板上，以便形成半导体器件制造中使用的薄层。该单元利用物理气相沉积（PVD）技术，其中涉及使用等离子体在真空中使材料汽化，然后使其在基板上凝结。这就产生了原子稳定、均匀的薄膜，具有特殊的性能。ULVAC Entron溅射机由几个组件组成，所有这些组件设计为协同工作，以达到最高的效率和性能水平。该工具的主要部件是溅射室，设计用于疏散大气，为沉积过程创造真空。此外，该腔室还包括一个载荷锁，有助于维持低压环境，并用于从腔室引入和移除基板。资产还具有基板保持卡盘，负责在溅射过程中保持基板的取向。恩特龙模型使用双磁控管溅射源，其中包括两组在溅射室内产生强烈磁场的磁性线圈。这些磁场创造了一个等离子体环境，有助于材料的汽化。双源还允许用户控制溅射速率和材料在基板上的沉积速率。此外，该设备还利用一个入口来引入将用于溅射的材料。最后，ULVAC Entron系统包括一个控制单元，负责控制单元内的组件，在溅射过程中保持安全的环境。这包括压力感应、温度控制和控制沉积速率的慢阀等特性。此外,此单元允许用户调整溅射过程的设置,从而实现对沉积的精度和控制。总而言之，Entron溅射机是一种先进的制造工具，设计用于在基板上生产高质量的材料薄膜。它的组件为用户提供了精确的控制,并能够实现具有卓越性能的难以置信的均匀层。ULVAC Entron溅射工具非常适合广泛的应用，可用于生产各种半导体器件。