二手 ULVAC IBS-6000 #9053705 待售

ULVAC IBS-6000是一种用于薄膜沉积的精密溅射设备。该系统利用射频（RF）或直流电（DC）电源产生具有高能粒子的电离气体。在溅射过程中，这种气体被引导到沉积室内的目标材料上。当气体中的离子轰击目标材料时，材料被切成薄膜并沉积在基板上。IBS-6000设计紧凑,占用空间小,操作性能高。该单元使用易于配置的高纯度、低压工艺室，允许处理不同大小和形状的样品。先进的数据测量机快速记录基板温度、压力和离子电流，以确保精确的沉积过程。ULVAC IBS-6000旨在提供精确的溅射技术。它有一个自动化的过程设置，易于使用的软件和一个新开发的快门机制，以确保一个一致的薄膜厚度。该工具还具有促进高效膜沉积的大功率离子源和直流电模式。该资产还具有用于均匀溅射沉积的重力屏蔽磁控管机构和专门开发的用于精确溅射速率控制的驱动单元。此外,IBS-6000还配备了先进的原位膜厚度监视器,以确保膜厚度精度。该监测模型包括一种连续膜厚度测量技术，可用于实时检测溅射膜厚度的变化。ULVAC IBS-6000是一种多功能、高性能的溅射设备,设计用于生产厚度均匀一致的薄膜。它结合了精确的应用和复杂的系统，使其成为各种沉积项目的一个有吸引力的选择。