二手 ULVAC IBS-6000 #9237376 待售

ULVAC IBS-6000是一种尖端溅射设备，能够提供可靠和均匀的金属、氧化物材料和碳纳米管薄膜涂层。它采用高容量直流电（DC）源，提供充满活力的电离，从而提高涂层均匀性和沉积效率。该系统的高功耗/高吞吐量结构使涂层时间短,过程窗口宽,这意味着更少的重复运行和更大的成本节约。IBS-6000具有完全机动化的远程控制功能,可实现远距离过程控制,这是自动化研究应用程序的便捷功能。友好的图形用户界面为用户提供了易于导航的设置菜单，以快速选择和优化流程参数。该单元的可自定义配方和序列功能使用户能够根据自己的精确需求对溅射和其他过程进行精确的定制。ULVAC IBS-6000使用ULVAC专利的溷合-旋转溅射技术。该技术为传统的单轴旋转溅射工艺提供了经济的解决方桉。它消除了使用单轴旋转器的需要,从而节省了与多个单轴溅射装置相关的能源和成本。此外，Hybrid-Rotary Sputtering可以精确生成溅射的目标图样和形状。大气产品温度保持在远低于350°C的水平，以便进行高效的低温处理。此外，机器的刚性框架设计和低重心提供了卓越的稳定性和隔振。综合起来,这些特性提供了IBS-6000卓越的可加工性.ULVAC IBS-6000非常适合许多需要精确原子层沉积和薄膜沉积的工业和研究应用。它是一种特别有效的溅射工具，用于需要微电子器件和传感器的阵列和精确的生长控制。此外,IBS-6000具有内置的安全相关功能,包括针对异常情况的警报和紧急停止逻辑,使其成为广泛应用的理想选择。