二手 ULVAC MCH-4500 #9226118 待售

ULVAC MCH-4500
製造商
ULVAC
模型
MCH-4500
ID: 9226118
晶圆大小: 6"
Sputtering systems, 6".
ULVAC MCH-4500是一种先进的用于薄膜沉积的溅射设备。它可以在尺寸不超过4英寸的基板上沉积超薄膜。该系统采用高频磁控管溅射产生附着性能高的均匀薄膜。MCH-4500适用于各种研究和商业应用,包括半导体、薄膜电光、多层反射镜和耐磨涂层。ULVAC MCH-4500具有广泛的功能,可最大程度地提高溅射膜的沉积速率和均匀性。该机组的高频磁控管电源可产生高达5kW的功率,从而实现高沉积速率和薄膜均匀性。此外,该机器采用高速率溅射沉积,允许金属和氧化物目标材料同时或单独溅射,从而产生反射镜层、电极或饱和吸收器。该工具配有各种组件,可确保准确和可重复的操作。这包括一个4合晶片提升单元和一个自动膜厚度测量资产,它允许精确的基板处理和监测薄膜沉积。MCH-4500还具有两步质量流控制器、两个独立的温度控制单元、一台多功能PC、一台基于客户端/服务器的软件控制模型和一台24-7监控设备。此设置旨在提供可靠和自动化的薄膜沉积体验。此外,系统还配备了许多安全功能,以确保用户安全。其中包括安全摄像机单元和自动安全快门装置,保护操作员免受危险激光辐射。安全快门装置还能防止薄膜氧化,同时防止颗粒进入并污染沉积室。ULVAC MCH-4500是一种高度可靠、安全和自动化的溅射机器,适用于各种应用的可靠薄膜的沉积。它结合了先进的元件和特性,可以为广泛的应用提供精确和均匀的薄膜沉积。该工具是研究人员和工程师寻求可靠和高效溅射资产的理想选择。
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