二手 ULVAC MCH 9000 #293819047 待售

ULVAC MCH-9000溅射设备是薄膜沉积的先进工具.它包含了几个高级功能,以获得卓越的效果。它是一个同时利用磁控管和电子束的溅射过程的双束系统，在沉积过程中提供了极好的灵活性。该单元具有用于精确溅射沉积控制的固态控制器，以及针对不同的薄膜目标定制等离子体溷合的能力。它还利用多目标特征，允许多层薄膜同时沉积。该机由一个中央主腔室（容纳双束溅射阴极）和几个卫星腔室组成，可以容纳额外的目标。每个卫星腔室位于不同的角度，允许更广泛的加工腔室。机动转移臂允许基板在主室和卫星室之间以及溅射目标之间自由移动。这使操作员能够在主操作室和卫星之间快速移动，从而显着提高了沉积过程的效率。由于该工具具有自动腔室传输模型和真空互锁功能，因此可以很容易地集成到真空资产中。溅射源被手动插入主腔内，可以以260度弧转动，以便进入目标的整个表面。源是相互独立的，允许最大程度的灵活性的过程。电子束源设计用于反应性溅射，而磁控管阴极则针对物理气相沉积（PVD）工艺进行了优化。最多可在任何一个时间安装四个阴极，设备可以很容易的扩展与额外的目标。人性化控制器融合了PID反馈控制、磁控管功率控制、自动目标补偿、多种预设操作配方等几项先进功能。机动化的转移臂也是遥控的，使得基板容易装卸。MCH-9000溅射系统在薄膜沉积方面具有很强的通用性和优异的性能。它是一个可靠的单元，使操作员能够在不同目标之间轻松快速地移动，同时保持出色的过程控制。它是一台设计精良、功能强大的机器,可最大限度地提高生产效率和准确性。