二手 ULVAC MCH-9000 #9269413 待售
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ULVAC MCH-9000是一种高端溅射设备,设计用于生产薄膜涂层、纳米材料和其他超薄膜。该系统由一个主源室组成,在该主源室中溅射一个涂有浆液的金属靶,以及一个辅助室,在反应进行过程中支撑反应。为了开始溅射过程,将一种惰性气体,例如氙送入主腔室,并对目标材料施加射频交流电(RF-AC)。这导致目标材料的单分子表面分裂成自由离子,进而变成"溅射"离子,然后被推向基板表面,形成涂层。基板可以是多种材料,从玻璃到金属,这些涂层可以用于半导体和光学工业的广泛应用。MCH-9000是高度通用的,结合了各种控制和功能,以确保精确的结果。其集成的先进数字控制器允许精确调整溅射速度、溅射压力和气流等参数。此外,该机组还配备了一台设计用于减小氙气损耗的先进气体循环机,以及用于调节工作环境的真空压力监控器和控制工具。该资产还配备了用于诊断和过程控制目的的集成监视器和记录器。这允许操作员跟踪和分析生成的涂层厚度、均匀性和其他参数。此外,ULVAC MCH-9000还配备了一系列安全系统,包括超压关闭开关、低级报警器和自动气体关闭阀。总体而言,MCH-9000是一个先进的模型,旨在提供精确、高质量的溅射效果。其集成的工艺控制、诊断能力、气体循环系统和安全系统使其非常适合任何需要严格薄膜涂层沉积的研究或生产环境。
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