二手 ULVAC MLX-3000N #293796096 待售

ULVAC MLX-3000N溅射设备是一种高性能溅射沉积系统，设计用于薄膜的精密沉积。它是各种工业、科学和半导体相关应用的理想选择。MLX-3000N利用大功率磁控管源技术在大面积基板上生产各种材料的高质量薄膜。该装置设计为通过电子束辅助溅射技术提供非常低温的沉积。ULVAC MLX-3000N具有多种先进功能，如超高真空室、先进的高效磁控管电源和遥控操作。超高真空室为保证高沉积速率创造了清洁的真空环境，而具有精确控制的高效磁控管电源即使在小基板上也能实现卓越的薄膜均匀性。此外，遥控操作允许高效和方便的溅射沉积。MLX-3000N的超大尺寸腔室允许广泛的应用，包括铜、铝、钨、硅、铬等金属和复杂材料。可用于石英基板上的大面积溅射，以及蓝宝石和玻璃基板上的小面积沉积。该机还能够进行包括ITO层和SiO2层在内的多层处理。ULVAC MLX-3000N提供卓越的过程控制和胶片的均匀性,这在很大程度上归功于全自动工具。使用集成的过程控制软件（PCS）,资产可确保卓越的过程控制,并在很长一段时间内保持准确性。PCS还支持更复杂的过程,如梯度和离轴溅射。MLX-3000N是在任何材料上沉积高质量薄膜的一种成本效益高的解决方桉。这种溅射模式耐用、可靠、节能，是广泛应用的理想选择。