二手 ULVAC MLX-3000N #9156850 待售

ULVAC MLX-3000N是一种高性能的溅射设备,能够生产用于多种不同用途的高质量薄膜。系统采用多室结构，主室为六角形，侧室为侧室，底室为最大弹性。它提供了多种溅射源，如圆形和矩形阴极、双磁控管源和不平衡磁控管源。它采用了高级功能,例如板载ICRF高级电源、多个等离子体监控选项和闭环过程控制。MLX-3000N是一个完全可编程的单元，具有可调的沉积速率、离子轰击强度和宽度控制，允许精确的压力控制和优越的膜质量。该机还包括用于实时过程监测和控制的光发射光谱仪。ULVAC MLX-3000N能够生产各种薄膜，包括金属、电介质、氧化物和氮化物。该工具旨在处理低压和高压反应性溅射过程，允许广泛的应用。它还与ULVAC EXA900系列PVD沉积系统完全兼容，从而能够将过程快速转移到资产中。集成退火站可以沉积非常薄的金属膜，而冷却组件有助于保持膜的均匀性。最后,MLX-3000N使用了多种软件包,允许用户从单个界面控制整个模型。该软件与ULVAC ICRF电源完全兼容，利用GLASS程序加快了复杂过程的开发和调试时间。ULVAC Sputter Process Monitor（SPM）软件还为用户提供了对整个沉积过程的完全控制，以最大限度地提高过程可靠性。总之,ULVAC MLX-3000N是一种高性能溅射设备,它具有多种特性和功能,可满足各种应用程序所需的要求。该系统的多室结构、先进的板载特性、可编程性和软件兼容性使其成为高精度薄膜沉积的理想选择。