二手 ULVAC MLX-3000N #9266533 待售

ULVAC MLX-3000N是一种用于半导体器件制造的高性能溅射设备。这个系统由一个电源、一个射频发电机、一个工艺室、一个基板级以及各种附加组件组成。射频发电机提供高达3,000瓦的功率,能够提供双向、脉冲直流和脉冲偏置电源。射频发生器还具有用于改进过程控制的大功率脉冲偏置模式。该工艺室是一种二维平面排气单元，可实现快速减速。加工室可以加工尺寸不超过200毫米的晶片。它支持几种溅射过程，包括膜沉积、预清洁、后溅射和多目标溅射。这个多面腔室配备了独特的离子泵机，以实现高处理速度和均匀性。基板级旨在提供恒定、可靠的基板,以满足雄心勃勃的应用要求。这个阶段有一个集成的主动稳定工具，以确保精确的晶圆定位。它还具有一个自动晶片装载机，用于快速基板装卸。此外,MLX-3000N还可以配备其他组件,以提高流程灵活性。一个底物加热器和朝日UNAX原子氧发生器可以集成到腔室中，用于更高级的氧化和退火应用。还可以添加一个原位极化探针，以改进过程监测。总之,ULVAC MLX-3000N是一种先进的溅射资产,可提供高功率、精确的处理和过程灵活性。其精密电源、工艺室和基板级允许在半导体制造中有广泛的应用。从氧化和退火到过程监控,额外的组件可以实现更多的过程应用。