二手 ULVAC MPS-2000 #9156854 待售

ULVAC MPS-2000溅射设备，由ULVAC Japan制造，是一种用于薄膜生产的通用工具。MPS-2000具有三个独立的溅射源，允许多层沉积和精确的厚度控制。真空泵提供5 x 10-6 Pa的稳定基底真空和3 x 10-3 Pa的最大压力，允许以快速抽水时间一致的薄膜应用。ULVAC MPS-2000具有50 x 50厘米的阴极室,尺寸为300 x 150 x 200厘米,全为不锈钢结构。其温度范围为100˚C至325 ˚C，系统可以朝向任何方向。它与标准和反应性溅射兼容，可以使用其内置控制单元实现自动化。此外,MPS-2000还具有用于温度和压力的触摸屏控制器,以及监控和诊断功能。ULVAC MPS-2000是高质量薄膜溅射沉积的可靠选择。其独立的来源和多层沉积能力使得它在许多应用中非常有用。MPS-2000沉积的薄膜以其均匀性和优越的附着力以及提高沉积速率和降低薄膜均匀性的能力而着称。自动控制功能确保了操作员的最少输入，这有助于减少总体生产时间。ULVAC MPS-2000还配备了气体剂量能力，可用于确保所沉积成分的适当反应速率。总体而言，MPS-2000是一个功能强大、用途广泛的薄膜应用溅射机。其强大的设计和先进的特性使其成为许多生产过程的可靠选择。内置的控制工具减少了操作员的输入，从而实现了快速、轻松的操作。而它的多层能力和优越的均匀性保证了一致的结果。