二手 ULVAC MPS-5000-HC6 #9156847 待售

ULVAC MPS-5000-HC6是为高质量薄膜沉积应用而设计的最先进的溅射设备。该系统由8英寸单电池磁增强平面溅射源、8英寸基板支架、高真空室、光发射光谱仪（OES）模块和专用软件组成。溅射源具有超低电压、低EMI电子枪，以及多磁控管、高容量目标设计，以提高溅射均匀性和稳定性。基板持有者由微量定位器控制，具有中和静电荷的专利方法，确保了精确的基板定位和涂层均匀性。MPS-5000-HC6室配有用于引入反应性气体的气体喷射装置，以及带有两个移动叶片和两个固定屏蔽装置的排气装置，以保护室内免受污染。OES模块集成在腔室中，允许在溅射沉积过程中进行实时监控和自动控制参数。专用软件通过各种配方和参数调整简化和自动化溅射操作，并设有全自动的样品装卸机。此外，它还允许储存溅射配方和检查密室状态。ULVAC MPS-5000-HC6对于那些寻求可靠和高效的溅射工具来沉积高质量薄膜的人来说是一个有吸引力的选择。