二手 ULVAC MPS-6000-C1S300 #9313940 待售

ULVAC MPS-6000-C1S300是一种功能强大但操作简单的反应性等离子体溅射设备。该系统旨在在半导体晶圆上制造金属、介电和其他材料的薄膜。该单元由三个主要组成部分组成：一个疏散室、一个教育室和一个溅射室。疏散室用于从溅射室周围疏散空气和其他污染物。这是通过采用多级涡轮分子阻力泵来实现的，该泵用高速旋转叶片将空气吸出腔室，提高腔室清洁度。教育室负责将少量的反应性气体引入溅射室。这是通过使用高温电阻加热机实现的，该机用于高速蒸发反应性气体。最后，溅射室由机载磁控管溅射单元控制。这个溅射单元在目标材料和阴极产生的等离子体电弧之间产生电弧。这会产生一个受控的等离子体，随后用目标材料的薄膜覆盖晶片。该工具能够在各种形状和尺寸的基板上制作包含金属、电介质、陶瓷和聚合物等不同材料的薄膜。此外，资产还具有若干安全特征，例如泄漏检测模型，该模型将检测和阻止任何气体泄漏，以保护操作员免受有害气体的侵害。总体而言，MPS-6000-C1S300是在各种形状和大小的基板上制作各种材料薄膜的理想工具。该设备独特的设计和安全特性使其成为任何薄膜应用的理想选择。