二手 ULVAC PME-200 #9070529 待售

ULVAC PME-200溅射设备是为各种薄膜应用而设计的高度通用的高级溅射系统。该装置采用模块化多构型框架设计，可容纳多个PVD过程，包括热溅射和反应式溅射。机器带有两个溅射室，每个室最多配备两个磁控管溅射阴极。每个溅射室可以容纳多达四个基板，每个基板都在一个独立驱动的基板支架上。该工具灵活的设计使用户能够快速轻松地更改基材类型、目标成分和溅射参数，以最好地满足应用程序的需求。PME-200由高频脉冲调制电源供电,可产生重复频率高达3 kHz的高频脉冲。PACMAN自动控制器旨在通过自动设置溅射参数和基板温度的最优值来最大程度地减少操作员的干预。这允许在每种基板上均匀、可重复的沉积。弹簧加载的淋浴罩设计通过屏蔽整个基板区域，使其免受溅射产生的带电粒子的影响，从而提供了更好的沉积均匀性。磁感器设计允许目标材料的高密度沉积，最多可有五条稀有气体管线连接到资产，用于反应性溅射过程。ULVAC PME-200还具有一个坚固的冷却环路，它既提供温度控制，又提供对腔室的颗粒提取，有助于保持清洁的加工环境。最后,PME-200带有直观的人机界面,用户可以轻松配置溅射过程、存储设置配置,并提供完整的模型控制和监控。该设备还包括若干安全功能，如具有互锁激活功能的门禁系统、温度监测，以及在发生任何异常情况时自动关闭。所有这些功能结合在一起,使ULVAC PME-200成为一种功能强大、灵活且可靠的工具,可用于各种薄膜应用。