二手 ULVAC PME-200 #9218797 待售

ULVAC PME-200是一种通用的溅射设备,用于将薄膜沉积到各种基板上。该系统因沉积合金、金属、绝缘体等厚度和均匀性受控等多种材料而在研究实验室中流行。PME-200由一个由三层真空密封设备外壳和驱动机构覆盖的主室组成。该主腔室配有三个溅射源，可以配置在平行磁控管或交叉磁场源中。它还有一个源支撑结构和一个匹配的阴极组件，作为溅射源和基板支架之间的连接。基板支架负责在沉积过程中支撑基板，可配置为扁平或圆柱形基板。它由一个固定框架、加热器和一个聚焦环组成。加热器用于调节基板温度，焦点环为沉积源提供一个可调节的区域。ULVAC PME-200的控制器包括带液晶显示屏的触摸面板、后备内存、编程选项和源代码控制。该源控制器可处理多达五个具有多种溅射气体的沉积源。这个单元有一个精密的热控机，带有一个PID反馈回路，允许精确的温度稳定性和均匀性。温度控制可以使用焦环控制，并可以选择氙气、氮气、氦气和其他气体。PME-200配有排气管理工具，确保颗粒安全清除。该资产有一个排气口，可有效通风。它还配备了真空压力传感器，以便能够精确测量沉积过程压力。ULVAC PME-200是一种多功能沉积模型，具有多个溅射源和先进的热控制设备。该系统允许在平面和圆柱形基板上沉积各种厚度和均匀性受控的材料。先进的热控制和排气管理单元确保了一个安全和高效的过程与各种各样的气体。