二手 ULVAC SBH-2306-DE #9055122 待售

ULVAC SBH-2306-DE溅射设备是一种高性能工具,旨在在多种应用中创建高精度薄膜材料层。这个最先进的系统利用物理气相沉积（PVD）技术，这是一种真空级沉积技术，其中使用溅射源轰击目标表面，并将目标材料的原子或分子转移到基板上。SBH-2306-DE具有独立的旋转溅射室，可产生高均匀性和精确度的薄膜，以及用于同时溅射具有不同成分的目标的双磁源。它可以在基压降至1e-5 Pa的大真空室中处理多达两个基板或靶子，以及来自软金属、合金、硅化物和氧化物的多层薄膜。基板尺寸可容纳4英寸至8英寸的基板，最大基板尺寸为300毫米。该单元配备了多功能光学监测机，有助于处理前后的测量，以及用于缺陷分析的远程诊断工具。其直观的软件能够轻松输入数据，为用户提供所有必要的信息，以产生良好的效果。此外,ULVAC SBH-2306-DE能够以优异的可重复性执行高级流程,为要求最苛刻的应用程序提供最高的效率和生产力。该资产的设计包括水冷却和空气冷却，以便在处理大型基板时更好地控制热量。SBH-2306-DE设计时考虑到安全和用户的便利,具有自动沉积厚度控制、避免气体泄漏和针对所需应用程序优化操作设置等功能。这种强大的溅射模型以其无与伦比的多功能性和性能，是汽车、医疗电子、太阳能电池和微电子等行业研究和生产过程的宝贵资产。