二手 ULVAC SBH-2306 #9107295 待售

ULVAC SBH-2306是一种溅射设备，用于各种应用，例如将材料薄膜沉积到基板上。它具有提供密封环境的圆顶状真空室，并采用气体注入系统进行最佳温度控制。腔内为多目标溅射炮，配有四个射频溅射阴极，用于不同的涂层配置。它具有控制溅射持续时间的可编程脉冲/计时器和控制等离子体密度的偏置电压源。SBH-2306薄膜涂层的沉积速度在0.1至10 nm/min之间。它还具有小巧易用的控制器，可支持目标角、腔室压力、气体流量和溅射电压等多达十个溅射参数。这种溅射装置能够促进反应性离子溅射、氧化和无氧化涂层过程。它有一个原位压力监测室和一个高压气体喷射机，以更好的过程控制和提高重复性。ULVAC SBH-2306还配备了用于高真空操作的涡轮分子泵，这是低应力溅射涂层所必需的。此外,它还具有一个氮气净化端口,以加速泵的停机时间.该室还设有两个用于材料介绍的端口，一个用于铝制目标，一个用于反应性气体，以及一个用于实时控制整个溅射过程的视口。为了保证最佳性能，ULVAC溅射系统拥有具有多个精确溅射参数的高端微处理器控制器，以提供最佳的过程控制。有安全功能,例如,在检测到不安全的过程条件时,可以发出声音和视觉警报,提醒操作员。该工具还包括一个维护菜单，以便操作员能够轻松地采取纠正措施。总体而言,SBH-2306是一种高度先进的溅射设备,可为各种不同的应用提供可靠、可重复和精确的薄膜涂层效果。它配备了许多功能以确保安全运行,并且能够以最小的投资提供高质量的结果。