二手 ULVAC SBH-2306 #9156856 待售

ULVAC SBH-2306是一种用于将薄膜沉积到基板上的溅射设备。它非常适合创建具有优越均匀性的精细结构。该系统包括一个旋转溅射枪、一个真空室和一个旋转升降台。溅射枪设计用于反应性和非反应性溅射。它利用三种火炮模式来适应各种溅射需求。这些包括功率调制、射频（RF）调制和直流磁控管溅射。该枪配备了一系列目标，以覆盖广泛的要溅射的材料。真空室采用机械泵送，并配有旋转叶片粗加工泵。它还有一个单独的涡轮泵，用于高真空操作。排气和排气系统是内置的，以方便过程相关的操作。旋转升降台能够使基板在溅射路径内外旋转，也用于节省基板空间。SBH-2306提供了许多附加功能,包括基板温度控制、数字真空计、闭环过程监控以及自动辉光排放清洁和调节装置。机器整体尺寸小，足迹长89英寸，宽30英寸。此工具提供卓越的性能和可重现的结果。适用于ITO涂层、SiO/SiN涂层和OLED的PECVD薄膜沉积以及金属/绝缘体多层系统等薄膜应用。ULVAC SBH-2306提供了一个优秀的能力，创造优秀的功能，同时保持卓越的统一性。