二手 ULVAC SBH-5315 #9053711 待售

ULVAC SBH-5315溅射设备是一个综合性的薄膜沉积平台，用于广泛的研究和工业应用。它能够沉积包括金属、半导体和绝缘体在内的各种材料的均匀、高质量的薄膜。它是专门为非常高的沉积速率而设计的，同时仍然保持着很高的可重复性和准确性。这些特性使得它非常适合各种溅射沉积过程，如阴极电弧蒸发（CAE）、平面磁控管溅射（PMS）和反应性溅射。该系统配有三目标DC/RF模块化平台，便于单层和多层薄膜的沉积。它利用ULVAC专有技术，常被称为"冈恩效应"，产生均匀厚的层。这使得溅射过程能够得到准确的控制，并达到较高的沉积速率。该单元还配有综合硬件套件，包括传感器、温度监视器、计算机接口和控制机。这样可以精确、自动地控制溅射参数以及沉积速率。此外，该工具的特点是具有四象限设计的真空室，可以容纳多个目标和基板。一个强大的涡轮分子真空泵被用来疏散腔室，从而允许高效和低温的材料沉积。SBH-5315还采用了一种温度控制资产，可以防止不希望的除气，并确保整个沉积过程中的温度稳定。此外，该模型还具有若干安全功能，例如自动关闭系统，如果由于系统故障或人为错误而使整个设备变得不安全，这些系统将使整个设备停机。该单元还具有高级数据记录功能,使用户能够记录沉积过程以及实时跟踪和分析数据。总体而言，ULVAC SBH-5315是一种用途广泛、用户友好的溅射机，能够提供可靠、高性能的薄膜沉积。它配备了广泛的功能，便于精确的过程控制、温度调节和过程监控。对于各种应用都需要优质薄膜材料的研究人员和工业用户来说，是一个合适的选择。