二手 ULVAC SCH-1000 #9314701 待售

ULVAC SCH-1000是一种紧凑、高度先进的溅射设备,专为各种研究和生产应用而设计。该系统可用于广泛的溅射应用，包括玻璃、铝、硅等材料的薄膜沉积。该机组配有两级射频电源，以提高薄膜层的均匀性和高速沉积。它还具有一个三维基板支架，以促进基板各部分的均匀性，一个用于超高真空环境的真空室，以及一个全自动的过程气体控制机，用于对沉积过程的高级控制。该工具是用先进的光刻资产建造的，该资产将光束光刻和电子束光刻结合在一台机器中。这允许精确制造尺寸高达几百纳米的高精度纳米结构。该型号还具有高速多目标溅射头,最多可安装六个目标,从而为生产应用程序提供高生产率和可扩展性。该设备能够进行单层或多层薄膜沉积，材料和基材种类选择广泛。SCH-1000具有精确的厚度测定系统,其精确度可达5埃,并通过其实时非接触式光学厚度监视器提供便利。它还有一个内置的气体压力监测仪，有助于保持清洁的工艺条件以取得一致的结果。凭借其3D基板支架，它还能够在整个基板上实现多层的均匀性。ULVAC SCH-1000的设计是通过快速对准、短周期和快速基板转换来提高吞吐量。它易于使用的图形用户界面也使操作变得容易。这种可靠高效的溅射工具可用于将各种薄膜（从氧化物到金属）沉积在包括柔性塑料在内的各种基板基板上。SCH-1000具有广泛的应用范围和可靠的性能,是满足大多数研究和工业需求的理想溅射解决方桉。