二手 ULVAC SCH-135 #293623029 待售

ULVAC SCH-135是由专门研究溅射沉积技术的公司ULVAC, Inc.制造的溅射设备。SCH-135是一种采用真空电弧技术的DC/RF增强PVD溅射涂层沉积系统。该单元具有独立的直流和射频偏置电源、可变功率输出和三电极电弧控制。它有两个溅射源，一个是8英寸，另一个是4英寸，用于更快、更高效的涂层。机器还有两个可以单独或同时用于沉积的目标。ULVAC SCH-135在各种材料的溅射方面提供卓越的性能，包括磁性材料、透明导电膜等。SCH-135的溅射宽度可达8英寸，允许较大的表面积一次溅射，溅射面积速度可达30 cm2/min，提高了涂层的均匀性。该工具能够在10-5 Pa的高真空环境下运行，实现了更高的沉积速率和提高的性能。腔室压力可以通过集成的VETM（真空增强技术模块）特性进行控制，在操作过程中可以根据沉积材料、工艺温度和所需涂层均匀性进行调节。h ULVAC SCH-135还具有多种附加功能,包括光学窗口、目标清洁和冷却机制、射频屏蔽电源以及集成的远程监控资产。这使得该模型非常适合研发应用，也非常适合需要优质溅射涂层的各种工业应用。SCH-135提供可靠的高性能,并具有可重复的结果。它支持广泛的材料和薄膜，其操作具有成本效益，即使对于小体积涂层应用也是如此。