二手 ULVAC SDP-550 #9411768 待售

製造商
ULVAC
模型
SDP-550
ID: 9411768
Sputtering system Manual load port Pump.
ULVAC SDP-550是一种溅射设备,用于将薄层材料沉积到基板上。它结合了强大的DC/RF磁控管溅射室和高效的可转动样品支架。SDP-550提供了高度均匀性的沉积和可靠的样品传输,而其自动溅射设置使材料的快速选择和参数选择成为可能。ULVAC SDP-550的溅射室可容纳两个或三个目标,这些目标安装在可旋转的存根或滑轨上。所有的腔室部件都是用不锈钢制成的,腔室的设计是为了尽量减少沉积物料的堆积。蒸发室也可用于样品专用蒸发。这可用于高纯度金属层和涂层材料的沉积。SDP-550提供了广泛的沉积源。这些包括直流磁控管溅射、射频磁控管溅射、电子束蒸发、多极直流磁控管溅射、定向直流磁控管溅射、反应性直流磁控管溅射、离子束溅射、悬浮目标溅射、激光感应沉积。所有沉积源均可轻松安装和配置,以实现完整的样品覆盖。为了确保沉积在整个基板上的均匀性,ULVAC SDP-550可以配备一个特殊的样品支架。它旨在最大程度地减少目标阴影,从而在整个样品表面上实现均匀沉积。该系统还包括两级卡盘,可提供出色的电气连接和高样品旋转精度。SDP-550具有多种安全功能,例如安全真空互锁、护盖开孔器和压力传感器。还提供了一个自动化的样品处理单元,使操作员能够使用样品盒,使他们能够执行更高效的样品成像和蚀刻。ULVAC SDP-550提供了多种沉积方法和高工程均匀性。这使得它非常适合将陶瓷、纳米涂层、金属和金属合金等一系列材料沉积到任何类型的基材上。它的自动化特性和安全特性,以及在整个基板上提供均匀沉积的能力,使得它成为任何寻找可靠溅射机的人的绝佳选择。
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