二手 ULVAC SDP-570 #9411766 待售
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ULVAC SDP-570是用于薄膜沉积应用的最先进的多功能溅射设备。它是一种直流（直流电）溅射系统，设计的占地面积小，非常适合小型应用。作为一个磁控管溅射装置，它提供令人印象深刻的功率和高的沉积速率，最终导致高质量，均匀的薄膜。机器设计有一个完全封闭的腔室，允许改善发生溅射的环境。它有一个大的，易于调节的工艺面积，能够处理各种材料。内置真空泵可提高稳定性和可重复性。该溅射机非常适合沉积回火蒸发（DTE）和物理气相沉积（PVD）工艺。SDP-570溅射工具还具有高精度的机械设计元素。它的七轴测角仪允许用户精确地控制和调整基板的角度、倾斜和旋转，以确保一致的膜形成。其高精度的行星运动系统保证了过程中平滑准确的基板运动。此外,ULVAC SDP-570还为用户提供了广泛的流程参数。它配备了双频直流电源，给用户100至10000瓦的功率调节能力。其控制器具有射频和直流溅射两种特点，以更好地控制沉积参数。它的3区温度控制使用户能够保持刚性工艺温度。SDP-570溅射资产还包括先进的安全功能。机器配有传感器阵列，用于检测过程中的任何变化，并向用户提供即时警报。此外,它还具有紧急停止按钮,允许操作员在需要时快速安全地结束该过程。总体而言,ULVAC SDP-570提供卓越的性能、一致性和准确性。其工艺参数范围、先进的安全特性和直流/射频溅射能力使其成为薄膜沉积应用的理想选择。
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