二手 ULVAC SDP-651 #9379485 待售
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ID: 9379485
Sputtering system
(3) MITSUBISHI RH-L4B Robots
RF Generator
(12) SHIMADZU TMP1500 Turbo pumps
(11) ULVAC VS 2401 Dry pumps.
ULVAC SDP-651由ULVAC-PHI, Inc.制造,是一种高精度、经济高效的溅射设备,专为大体积薄膜沉积而设计。此系统的占地面积很小,最大宽度为808mm,高度为875mm,深度为1150mm。它有一个9英寸的溅射目标，能够沉积多达24个目标。该装置由强大的直流电（DC）电源供电，能够为薄膜的沉积提供高达350W的功率。它采用单架、开放式的洪水溅射炮，装有单面或双面目标。单面或双面目标可以通过机械类型、电气升降机或手动加载来加载。该工具能够提供高达75mA/in2和20mTorr的产出。SDP-651配备了一个过程控制器,可监控过程条件,包括温度、溅射压力和电压。通过红外温度传感器、残余气体分析仪、压力表、目标电流监视器和电压电源监视器进行监测。它可以配置为手动或自动操作，允许18种不同的语言选项。资产利用先进的、延长的工作距离敏感性来提供高均匀性和均匀沉积。它还提供各种基材材料和尺寸，无需新的目标设置即可更改。延长工作距离的目的是尽量减少底物对沉积结果的影响。ULVAC SDP-651专为提供最高质量的薄膜沉积结果而设计。该模型具有高效、均匀的沉积、均匀的厚度、高纯度、低热变化特征，是有机和无机材料应用中沉积薄膜的理想选择。
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