二手 ULVAC SH-350EL-C06 #9078346 待售

ULVAC SH-350EL-C06是ULVAC Inc设计制造的溅射设备。它是一个多室系统，可用于在基板上单步沉积薄膜。适用于工业规模批处理，支持反应性溅射、直流反应性磁控管溅射、反应性离子蚀刻、离子束沉积等一系列工艺。SH-350EL-C06包括一个带手动转移单元的疏散主室、一个加工室、一个基板固定器/冷却器和一个装载储物柜。主腔室有腔室压力表、水冷面板，以及各种端口，如负载锁定端口和节气门，允许各种连接的工艺腔室。该工艺室根据所沉积的材料最多配备四个目标，一个连接到腔室底部的真空泵，一个石英淋浴头衬在腔室的屋顶，以确保均匀沉积。腔室可以使用直流电源或射频电源操作。基板支架/冷却器的设计最多可容纳两个基板，其规格是可调的。支架可容纳700 x 700 mm的基板，并配有温度传感器，用于监测和维持10至40摄氏度的基板温度。此外，基板支架有一个旋转圆盘底座，并配有一个非接触感受器和一个平面内的"倾斜旋转"机构，如果沉积过程中需要倾斜角度或旋转角度。最后,负载储物柜设计有一个可打开的前闸门,使基板能够在不中断过程的情况下加载和卸下。它配有石英或氧化铝衬里，以确保基板的平滑度不变。此外，锁室能够同时容纳多达四个载荷，通过石英密封提供无氧环境，以防止氧化或与残留的大气气体反应。综上所述，ULVAC SH-350EL-C06多室溅射装置非常适合工业规模的分批处理，并提供了一系列的选择，允许各种沉积过程。由于其直观的设计和特点而易于使用，由于其封闭的机器而高效。对于需要可靠、坚固的溅射工具的人来说，这是薄膜沉积的绝佳选择。