二手 ULVAC SH-450H-C10 #9313937 待售

ULVAC SH-450H-C10是一种直流磁控管溅射设备，可用于制造各种材料的薄膜。它是一种三枪双室装置,具有强大的电源系统.该设备高度自动化,具有高级用户界面,使操作员能够轻松地选择和修改溅射参数。SH-450H-C10具有较高的真空室,可承受6x10̄³ 4x10̄⁸ Pa的工作压力。它由2.5或4 kW的强大电源提供动力,并可选择将功率扩展到6 kW,从而实现快速溅射沉积速率。它有一个适合多种目标材料的大溅射爆破室，有三个6英寸EUV目标。该室还装有一个4英寸晶圆兼容的钟形罐。ULVAC SH-450H-C10有两个光圈为方形的光学系统。第一个是带有内部狭缝的椭圆收集器，另一个是石英晶体监视器，能够实时监测工艺参数和质量保证。该机还有一个集成的低温冷却工具，以确保一个稳定的过程。此外，SH-450H-C10采用三枪机构。三门火炮中，中央顶点火炮资产有一个开槽环形磁控管，而另外两门火炮则有隔膜扁平磁控管。该模型还提供了使用高真空肠内气体喷射或低压气体罩的各种反应性气体溅射。总体而言，ULVAC SH-450H-C10是一种功能强大、用途广泛的直流磁溅射应用设备，如导电、半导电和介电材料薄膜的沉积。它提供了高沉积速率、低污染、良好的吞吐量和小颗粒生成的组合，使其成为在电子、光学、纳米科学和工程等多个领域进行材料沉积的理想选择。