二手 ULVAC SH-550 #9078338 待售
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ULVAC SH-550是一种最先进的溅射设备,设计用于各种目标材料、基材和最终产品的卓越涂层性能。该系统配备了13.56MHz-RF和低频直流溅射源,使其能够将各种金属薄膜沉积到广泛的基板上。专有的Advanced Electrode Balance Unit (AEBS)有助于在大面积基板上保持均匀厚度,并能够在较小的基板上精确、可重复地应用薄膜。SH-550适用于玻璃成像、密封、钝化和装饰膜等各种应用。它还具有用于优化等离子体密度水平的集成腔室气体控制和用于精确控制溅射参数的WINDEX-V1控制器。具有多个目标的射频源配备了快速更改源(QCS)以实现快速轻松的目标更改,并配备了可旋转源支架以方便基板装卸。机器带有AUTO-SEAL功能,允许密封腔室和目标基板接口。AUTO-SEAL功能还可以避免污染并确保提高涂层产量。该工具利用全自动真空资产快速疏散和精确控制溅射过程。ULVAC SH-550有一个低振动溅射沉积平台,可以保证膜的均匀、高精度沉积以及低接触电阻。该模型提供了可调屈服和压力剖面指标,以优化过程,减少温度漂移。该设备还具有防撞功能,以确保最大的溅射屈服和高精度性能。SH-550设计用于在400°C的温度下进行可靠和高效的操作,它具有多种先进的安全功能,既能保护操作员,又能保护环境。它包括真空级别保护和带有警报的压力传感器,可帮助监控过程条件并将任何不安全的操作条件通知操作员。此外,它还配备了集成的ESD保护设备,以帮助保护系统免受任何潜在的静电或损坏。总体而言,ULVAC SH-550是一种高性能的溅射装置,在广泛的应用中提供卓越的涂层性能。该机提供精确的薄膜沉积和可重复的结果,其集成的安全特性保证了可靠和安全的操作。
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