二手 ULVAC SH-550 #9118829 待售

ULVAC SH-550是由国际工业和科学仪器制造商ULVAC, Inc.开发的用于薄膜沉积工艺的溅射设备。它以溷合溅射离子源技术为基础，结合直流和射频功率，达到优越的溅射效果。该系统配置有两个独立的涂层源，它们可以独立运行，也可以组合运行，提供高精度的薄膜沉积。SH-550是一个紧凑的设计，总足迹只有50 × 30厘米。它拥有各种溅射元件，如离子枪、磁控管、平面磁控管和直流磁控管。所有这些组件都是无接触的,可以轻松移动到所需的位置。ULVAC SH-550还配备了长寿命电源和专用燃气箱，有助于减少加工气体的消耗。溅射过程在真空室中进行，上腔能够达到高达5 Pa的真空水平，下腔可以达到10 Pa。基板支架是可调的，可容纳200 × 200毫米大小的基板。该单元还具有加载/卸载机制，使其适合批量操作。机器带有图形化的用户友好界面，允许操作员控制和监视工具。再者，包括光谱学、噪声监测、热成像等多种原位诊断都可以原位进行，以测量薄膜厚度、均匀性和性能。SH-550提供各种可选组件,可用于沉积铝、黄铜、钛、钼和钨等材料。适用于薄膜的研发、工业规模生产。此外，该资产适合于多种用途，因此非常适合各种沉积应用。总之，ULVAC SH-550是一种可靠、先进的用于研究和生产的溅射模型。它具有紧凑的设计、出色的工艺控制和大量的可选组件,是一种通用的工具,可用于各种沉积应用程序。