二手 ULVAC SIH-3030 #9067203 待售
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ID: 9067203
优质的: 2004
Sputtering system
Substrate: 370mm x 470mm
Heating: MAX250C
Pumping: Cryo and Mechanical Pump
Sputtering source: (3) 5 x 15 High Rate Magnetron Cathode
Power Supply: DC5KW RF3KW
Process Gus: Ar and O2
2004 vintage.
ULVAC SIH-3030是一种磁控管溅射设备,用于各种物理气相沉积（PVD）技术.它在单一和多个目标过程中均具有优越的位置精度、出色的均匀性和更高的稳定性。SIH-3030溅射系统的多合一设计包括一个标准的载重锁和一个完全集成到舱室的相邻的样船。大腔室提供了349毫米宽大的轴向长度和两个可选的铰链门，方便访问。其可调闭环变频涡轮分子泵送装置保证了溅射室中最小底压1.6x10-4 Pa。ULVAC SIH-3030能够同时使用多达三个溅射源，并能够长期维持阴极连续加载操作。SIH-3030溅射机具有广泛的可调操作参数，以最大限度地提高沉积速率和均匀性。这些参数包括0-400摄氏度的温度控制、可调的源到基板距离,以及能够在固定直流电源或可选的交流基板偏置之间进行选择,以改善粘性和表面纹理。该工具还包括一个可编程的静电屏蔽，以优化离子轰击水平，以更好的薄膜均匀性。为了加强基板处理，资产标配基板冷却管线和可选的可调基板加热管线，以改善材料的解吸。ULVAC SIH-3030的先进安全型号可用于监控腔室状况，保护组件免受潜在电涌的影响。此外，该设备的触摸屏控制器确保了简单的操作和快速的生产时间。SIH-3030溅射系统非常适合用于半导体、航空航天、汽车和平板显示器行业的薄膜研究和生产。其先进的特性和可靠的性能使其成为各种PVD应用程序的绝佳选择。
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