二手 ULVAC SIH-450 #9313935 待售

ULVAC SIH-450是ULVAC为各种应用而设计和制造的高端溅射设备。该系统旨在在最具挑战性的真空沉积应用中提供可靠一致的溅射处理。SIH-450是一种用于反应性和惰性溅射以及磁控管溅射沉积的单源溶液。ULVAC SIH-450的工作区域为800mm x 600 mm,还配有集成的沉降片,可在沉积过程和沉积后过程中实现一致的晶圆冷却。温度均匀度为+/-0.5 °C,此单元可确保对过程进行温度和压力优化,以提供高度均匀的溅射沉积。该机为每个目标和最大直流功率12kW配备独立功率控制。它还有一个离子源，可以提供精确的离子清洗和辅助溅射过程。此外，SIH-450还配备了坚固可靠的涡轮分子泵，与ULVAC All-MFC（监测流控制）一致溅射沉积控制相结合，保证了精确的摩尔流控制。该工具提供了真空水平、工艺压力、温度和时间等广泛的可调腔室参数，所有这些参数极易控制和监控。该资产还配备了直观的触摸屏界面，可用于控制舒缓的操作，提供实时的流程数据，并允许远程访问。ULVAC SIH-450可以涵盖从薄膜沉积到厚膜沉积，以及溅射Si、Si@@-Ge、Si@@-C和其他基质等广泛的过程，如PVD和CVD。SIH-450具有出色的控制性能、简单的操作和低廉的运营成本,是提高工艺产量和缩短周期时间的可靠且经济高效的方法。