二手 ULVAC SIH-4545 #9050844 待售

ULVAC SIH-4545是用于制造微电子器件的先进溅射设备。它被设计成提供均匀、精确的薄膜沉积到基板上，具有很高的准确性和可重复性。该系统还可用于复杂结构的薄膜沉积，如互连和金属氧化物电阻器。SIH-4545单元由四个独立的溅射源和一个锁载室组成。这些源分别由2800W磁控管供电，安装在机器的正面。这使得选择的目标材料可以均匀均匀地溅射，并具有广泛的加工气体，其中包括氙气、氮气和氧气。其中包括一个可重复的高分辨率快门工具，用于精确控制等离子体溅射过程。锁载室设计用于快速样品加载，并提供自动化样品分析和样品表面预处理（如等离子体活化清洁和等离子体增强型化学气相沉积）。此功能进一步增强了资产的多功能性。ULVAC SIH-4545还具有其他一些旨在提高生产力的功能。例如，它可以达到高达2000纳米/分钟的高沉积速率。根据材料的不同，它还可以在大于90%的大面积上实现高均匀性。其平均沉积均匀度在1-2%以内，模型也是为了满足最苛刻的无缺陷薄膜要求而设计的。设备设计符合安全标准，坚固可靠，寿命超过3万小时。它还配有一个集成的制冷系统和一个低维护水回收单元。最后,ULVAC提供了广泛的附件,例如测量工具、过程自动化系统和可升级的Film Monitor Module。总之,SIH-4545是一种多功能、可靠、功能强大的溅射机.其广泛的特点允许在大型基板上进行高质量和精确的薄膜沉积。它设计方便用户，为各种微电子器件制造应用提供高性能和可靠性。