二手 ULVAC SIV-200S #293637678 待售

ULVAC SIV-200S溅射设备是一种高精度物理气相沉积（PVD）系统,旨在满足各种生产和研究需要。该单元由连接到ULVAC原始高温磁控管溅射源的真空室、磁控管可变压力系列（MVPS）组成，允许精确且均匀的涂层沉积。独特的真空室设计，尺寸为300 x 300 x 200mm，结构复杂，使本机即使在各类材料的沉积中也能达到精确的厚度均匀性和均匀性。SIV-200S还具有ULVAC原始射频施加基板Chuck的改进版本,用于平整度调整。这种调节工具使用了ULVAC新的高温双极喉咙（HTBT）工艺，允许基板的精确均匀性。该资产还具有交流发电机驱动机构，以尽量减少在PVD过程中产生缺陷的可能性，并提高沉积的均匀性。此外，ULVAC还设计了一种超高速、低飞行时间质谱仪，用于精确分析目标源和溅射元件。质谱仪能够高精度地测量有助于涂层颜色和特性的所有成分的分数。ULVAC SIV-200S功能具有先进的安全和互锁模型。所有安全和联锁功能都受到持续监控，设备可以快速、轻松地从腔室或腔室部分移入和移出。这样可以快速方便地维护和清洁系统。总体而言，SIV-200S溅射装置是一种强大可靠的机器，非常适合各种材料的高精度溅射。其强大的设计和复杂的安全和联锁工具确保涂层的均匀性和快速的分析，进一步增加了它的多功能性。该资产非常适合生产和研究需要,可确保高精度和可靠性。