二手 ULVAC SIV-200S #9162025 待售
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ID: 9162025
Sputtering systems
(6) Substrate holders, 4"
MFC:
Ar 200 sccm
O2 2 sccm
H2O 5 sccm
Pumping system:
ULVAC U-8H Cryo pump
ER400 Dry pump
2010 vintage.
ULVAC SIV-200S是一种最先进的溅射设备,设计用于将材料薄膜沉积到基板上以用于各种应用。该系统利用射频溅射使目标材料汽化，并以均匀的方式将汽化材料沉积到基板上。船上SIV-200S有两个平面磁控管，每个磁控管占单位的一半。机器的设计允许双目标操作，使得一次运行就可以将两种不同的材料沉积在基板上，从而减少制造时间和成本。此外，该工具还具有一个自动净化室，用于清洗腔室，这也最大程度地提高了沉积均匀性。该资产配备高容量真空泵，可达到1.3 x 10-3 Pa的压力，并在连续或批量处理模式下运行。这对于某些薄膜尤其重要，因为生产高质量薄膜需要低压基板。ULVAC SIV-200S还具有精确的温度控制功能；腔室和基板支架均由两个独立的风冷温度控制器单独控制,从而能够精确、均匀地沉积适当的温度窗口,消除沉积膜中的缺陷。高质量薄膜由于其均匀的薄膜厚度模型，无论目标材料的厚度或与基材的距离如何，都能使基材和靶材保持在恒定的间隙，因此可以用SIV-200S精确快速地沉积。这样可以确保在整个基板上均匀沉积。此外,一个快速PCR扫描和薄膜厚度监测标准的设备.ULVAC SIV-200S是一种功能强大且可靠的溅射系统,可提供更薄、更均匀的薄膜所需的精度和精确度。凭借其强大的真空泵、双磁控管单元、精确的温度控制、均匀的薄膜厚度机，以及单程沉积两个不同制造商的能力，SIV-200S是多种薄膜沉积的绝佳选择。
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