二手 ULVAC SIV-500 #9382251 待售

ULVAC SIV-500是一种溅射设备,用于在基板表面（如计算机芯片）上创建薄膜。这种溅射系统使用稀薄气体，典型的​​氙气，作为将材料沉积到基板上的来源。利用高电压，氙离子向基板表面加速，从基板顶层敲走并沉积材料。此过程可用于创建两块通过薄膜连接的平板，有利于创建计算机芯片。SIV-500采用500毫米乘420mm真空室,内部容积约850升。它总共配备了四个溅射源（三个磁控管和一个直流平面），可以在XYZ级围绕基板移动。它具有低温溅射和偏压溅射的能力，使得它能够在基板表面上产生不同密度的薄膜。设备还带有视口和查看软件,用于监视溅射过程。ULVAC SIV-500还配备了用于装载和卸载直径达8英寸的基板的装卸模块。它可以处理重量高达5公斤的湿加工盒式磁带，一次最多可装载三个基板。它配有内置的基板冷却器，以降低基板的温度，还有一个正交的视图照相机实时检查沉积过程。SIV-500能够在10纳米到几微米厚的范围内制作薄膜。ULVAC SIV-500是高效溅射过程的理想机器。它可以处理各种基板，非常适合半导体、LED和显示器行业的各种应用。它具有高级功能,例如提供高吞吐量的load-lock/unload-lock工具,以及实时过程监视功能,可确保每个沉积过程以最佳状态运行。所有这些特性，加上SIV-500的模块化设计，使其成为溅射薄膜的理想资产。