二手 ULVAC SIV-850 #9050843 待售

製造商
ULVAC
模型
SIV-850
ID: 9050843
优质的: 2006
Vertical inline sputtering system Includes: Sputtering method: RF Sputtering side moving deposition Process: Exhaust operation, film-forming operation Exhaust system: Turbo molecular dry pump Process Gas: Ar, O2 Substrate: 850 mm x 1250 mm (max. effective) No return system 2006 vintage.
ULVAC SIV-850是一种用于工业应用的PVD(物理气相沉积)溅射设备。该系统基于ULVAC独特的磁控管溅射技术,能够在广泛的基板上生产金属、氧化物和其他材料的薄膜。该单元的高级设计经过优化,以实现性能和简洁性,并具有紧凑的占地面积和较低的拥有成本。SIV-850可自动控制过程参数,包括温度、压力、射频功率和功率密度。该机器利用在直流、脉冲直流或射频模式下工作的多个溅射源,允许广泛的潜在应用。该工具设计用于多种材料类型,包括纯金属和合金靶标以及复杂的多层堆栈,使其能够灵活适应各种薄膜沉积需求。该资产经认证可用于洁净室操作,具有一系列安全功能,包括在超出安全操作参数时自动关闭。它还设计用于保持沉积室内的恒定温度,提供均匀和可重现的结果。它还提供了通过其内置用户界面实时监控流程参数的能力,从而可以轻松优化流程配方。模型的先进设计也保证了沉积速率的高度一致性和可重复性,同时也减少了颗粒沉积。这提供了非常薄膜的可靠层,即使在以高沉积速率处理复杂结构时也是如此。此外,ULVAC获得专利的"直接写入"技术使现场沉积成为可能,只能在需要的地方沉积材料。ULVAC SIV-850是工业薄膜沉积应用的绝佳选择,具有优异的性能、灵活性和可靠性。它也是一种价格合理的设备,对小型和大型生产环境都具有吸引力。
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