二手 ULVAC SMD-1800 #9384066 待售

ULVAC SMD-1800是一种高性能溅射设备,通常用于薄膜设备的制造。它是为工业应用而设计的，在这些工业应用中，优越的溅射涂层质量是至关重要的。SMD-1800采用二极管式射频溅射工艺，利用集成的五轴机械臂进行高速率有模式的溅射沉积。溅射单元是一种双头配置，具有外部磁控管电源和每个电源单独的直流或射频电源。该单元提供广泛的收集材料，如铝，钛，铜，合金。该系统具有灵活的内部结构，易于维护和维修，易于手动调整源。可调整的溅射压力室可以精确控制氙气环境，使其成为平面基板上有图样且均匀的溅射沉积的理想选择。射频频率是可调的，结合外部施加的轴向磁场，使薄膜沉积具有更大的灵活性。该装置还有一个可选的基板加热板，以促进增加沉积均匀性，以及几个用于提高工艺控制的原位监控工具。ULVAC SMD-1800是一种具有实时作业控制和过程优化GUI的全自动机器。机械臂最多可容纳6个"x 6"基板，能够将图样化和未图案化的基板转移到溅射环境中。这使得它非常适合从平面数据存储设备到薄膜晶体管以及其他溅射沉积应用的应用。整个工具是一种高效的资产,提供卓越的流程能力和质量。适用于高速薄膜的沉积和涂层，精度高，精度高。它也是高度安全的，有几个特点，以防止意外危险。具有出色的溅射速率、厚度均匀性和过程稳定性,SMD-1800一定会为您提供所需的结果。