二手 ULVAC SMD-1800X #9313943 待售

ULVAC SMD-1800X是为高质量薄膜沉积而设计的溅射设备.该系统包括一个先进的运动控制运动溅射装置、一个用于高效腔室疏散的超高真空室，以及一个独特、精密的过程机器，其中包括一个智能过程管理工具。运动控制溅射资产既能产生反应性薄膜，又能产生非反应性薄膜。它由四个溅射源组成，可分别或同时溅射多达三种化合物。它还包括一个八磁盘，安装在目标腔室上，用于稳定的溅射环境。磁盘确保在基板上有均匀的薄膜沉积，使沉积误差最小化。高性能腔室快速疏散，短时间内达到超高真空。它具有开放式腔室设计，包括四个用于监测和控制沉积过程的光学窗口。此外，它还为基板电阻配备了高效的、多区域的高程模型。这允许均匀的基板升高以维持所需的腔室温度。多功能工艺设备包括先进的高性能基板定位系统和最先进的基板温度控制器。它还包括智能工艺管理单元（IPMS），该单元旨在方便地设置工艺参数，并提供关于沉积膜质量的快速反馈。"过程检查"功能可以在整个沉积过程中执行各种检查，以提供有关沉积过程性能的信息。利用SMD-1800X机器的先进技术，提高了薄膜沉积的精度和速度，降低了工艺成本。该工具操作精密、高效，为制造先进电子器件和薄膜研究提供了理想条件。