二手 ULVAC SMD-2400C #293755343 待售

ULVAC SMD-2400C系列溅射系统是为满足众多工业涂层应用的需要而设计的一整套模块和组件。这些系统由四个主要组成部分-沉积源、过程控制和环境控制以及支持部分组成。沉积源由两个溅射源组成，可以进行灵活的多目标溅射。沉积源具有全方位的沉积资源和可调腔室压力，允许广泛的涂层过程。过程控制由设备控制器、互锁信封和HMI显示器组成。系统控制器提供精确的温度和过程控制,为用户提供精确的厚度控制.隔锁罩的设计是为了确保设备的正常运行，包括温度和压力控制。HMI显示屏提供了有关机器操作参数的可视化信息,确保了刀具安全并最大限度地提高了工艺效率。环境控制包括各种安全和维护功能，使用户能够保持一致的工作环境。它允许实时监控压力、温度和排气条件,为用户提供优化流程所需的工具。支持组件包括感应耦合等离子体（ICP）电源和负载锁。ICP电源为稳定溅射操作提供稳定电源。负载锁确保了内部和外部腔室环境的精确匹配，使用户能够快速、轻松地改变沉积目标。综上所述，SMD-2400C系列溅射系统是一种高效高效的溅射工具，适用于广泛的工业涂层应用。它具有精确的沉积源控制、实时过程控制以及可靠的维护和安全特性，非常适合多种不同类型的应用。